- 项目名称：
- 基于刻蚀坑可控生长的极紫外反射元件原子级抛光系统
- 项目团队简介：
- 该项目指导教师为上海交通大学机械与动力工程学院张鑫泉副教授、任明俊教授，项目团队共有4名成员(均为本科生)，其中主要发起人为机械动力类-机械工程专业2020级本科生叶璟天，团队成员刘国兴、崔维杰、叶子心均来自机械动力类-机械工程专业。
- 项目亮点介绍：
- 超精密抛光是光学制造业的灵魂，是最精密的抛光方法，目前仅有德国、日本等极少数国家掌握。以极紫外光刻机制造过程为例，光刻机核心元件集光镜要求在保留微结构形貌的基础上使表面粗糙度达到原子级，超精密 抛光是实现这一目标的唯一途径，但是这项技术却对我国封锁。该项目为“极紫外光刻机集光镜等光学微结构元件的超光滑抛光""这一""卡脖子""难题提供解决方案，旨在突破对我国的技术封锁。项目提出基于刻蚀坑可控生长的几何包络式抛光方法、""行星运动”式全域均匀抛光机构、“照度反馈""实时在位监测装置等三项创新。该项目提出的原子级抛光系统能够在保持光学微结构形貌的同时使微结构表 面粗糙度达到原子级。该项目在第十八届“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛中获特等奖，并作为机械与控制主赛道唯一的优秀获奖典型做公开展示。项目成果包含学术论文2篇、国家发明专利4项，相关产品在上海光机所、航天八院、朗信光学、成都光明、中物院精密制造所等科研院所、企业获得应用。项目相关成果在先进光学制造领域极具价值，在半导体制造、航空航天、国防军工等行业具有广阔的应用前景。
- 参赛感悟收获：
- 习近平总书记指出：“加快实现高水平科技自立自强，是推动高质量发展的必由之路。"第十八届“挑战杯“竞赛 为团队成员提供了一次十分宝贵的学习机会，帮助每一位团队成员锻炼自身的创新能力、工作能力、协作能力与表达能力。团队成员认为，科学研究的道路是漫长的，每一项科学创新的诞生都需要研究者付出巨大的努力，唯 有脚踏实地、坚持不懈，才能够摘下“科技之树”上丰硕的果实。在未来的工作中，项目团队将继续致力于"卡脖子" 难题的研究，以不懈的精神、昂扬的斗志，在中华民族迈向伟大复兴的光辉道路上书写科技报国的绚烂篇章!
